氣冷羅茨真空泵具有起動快、耗能低、運行維修費用低、抽氣速度快、效率高、對抽氣中含有的少量水蒸氣和粉塵不敏感、壓力在100~1pa范圍內迅速排出突然排放氣體等特點。壓強范圍正好在機械真空泵和擴散泵之間。為此，擴散泵與油封式機械真空泵常常被串聯起來，以增加中壓范圍抽水能力。也叫機械增壓泵。

氣冷羅茨真空泵的操作步驟。換新轉子，滾動軸承，油封，機械密封，調節墊紙，前后軸承箱壁板油封備用。(1)維修平臺采用矩形框架固定，將一級轉子前隔板置于檢修平臺上，根據標志放置自動轉子和自動轉子，在四個角逐步安裝泵殼，隔層，級間密封圈，調節紙墊及圓柱定位銷，拆開時注意調整紙墊厚度，并隨記錄旋緊泵體上緊螺釘。

(2)氣冷羅茨真空泵的泵體平放在維護平臺上，其轉子節流環位于裝置兩端的隔斷位置；安裝軸承箱中的壁板；設備軸承座和軸承。

(3)用塞尺檢查各級旋轉子和隔板的前后間隙，要求符合氣冷羅茨真空泵維修手冊中的間隙數據。通常保證轉子與前后隔板的間隙大于所需小尺寸，調節范圍為0~0.10mm。

(4)預裝同步齒輪：用鍵槽鎖定同步齒輪，用手輕按帶錐表面的同步齒輪。

(5)氣冷羅茨真空泵要調整兩個轉子視角90°，在二級兩個轉子之間插入0.20mm塞尺，垂直固定轉子長軸；用手輕輕轉動另一轉子，感覺前后松緊適當，再擰緊錐形同步齒輪上的鎖緊螺母；手動盤車應無堵塞。

(6)當兩個轉子與水平方向垂直于±45°時，由塞尺檢羅茨真空機組各級轉子間的間隙；D為兩轉子間的總間隙。轉子間的間隙一般需要-45°D/3+45°D/3。

(7)裝置前后軸承箱的后蓋、油封、機械密封、裝置后冷卻水箱、皮帶輪；

(8)將氣冷羅茨真空泵回原位，緊固錨栓，調整V帶密封度，恢復進、出口連接。

(9)氣冷羅茨真空泵需要加潤滑劑，檢查密封性，準備調試。

氣冷羅茨真空泵還必須要正確地重新安裝，否則不正確安裝將會導致設備不能使用甚至損壞。