根據基本原理干式真空泵可分為兩類：一類是體積式真空泵，如爪式泵、羅茨泵、螺桿泵、往復式活塞式干泵、隔膜泵、渦旋泵等。

　　不同類型的真空泵有不同的性能參數和適用場合。例如，無油隔膜泵主要用于實驗室。

　　石化裝置干式真空泵主要是爪式真空泵和螺桿式真空泵。此外，由于羅茨泵在低壓下的時候壓縮較高，通常作為爪式真空泵的前泵形成羅茨爪式真空泵，與純爪式真空泵相比，可有效提高低壓下的真空泵速率。

　　在半導體產品的制造過程中，所需要的真空系統需要具有去除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等這些功能。因此，油封機械泵不能滿足半導體行業的需要。在半導體行業的驅動下，干式真空泵出現于20世紀80年代。由于目前下游集成電路、光伏、LED等這些行業的可持續發展和進步，干式真空泵的產品類型也不斷增加，性能、控制集成度等指標參數也有比較明顯的提高。截至目前，干式真空泵已用于發達國家的半導體相關行業。近年來，我國也出現了干式真空泵取代油泵的明顯趨勢。干式真空泵已基本用于國內高端半導體行業。

　　干式真空泵工作時，無摩擦，運行平穩，噪音低，工作室無潤滑油。因此，干式真空泵可以去除大量的水蒸氣和少量的灰塵。由于螺桿形成了螺距結構，與等螺距結構相比，極限真空更高，功耗更低，具有節能、免維護等優點。是油封真空泵的更新產品。

　　除了半導體行業之外，制藥、化工、食品行業對真空泵的需求量也是比較大的，在過去的時候很多行業使用油封機械泵會產生油污染。近年來，國家高度重視環境保護，因為使用干式真空泵可以在工作中減少油污染，而且使用干式真空泵還可以實現溶解媒體的回收，提高利用率，因此制藥、化工、食品等行業，用干式真空泵來取代原油封機械泵，這些行業對干式真空泵有大量新的需求。

　　干式真空泵是未來行業發展的趨勢。雖然目前使用不多，但除了價格高之外，用戶對干式真空泵了解不夠，看不到未來給企業帶來的經濟效益。然而，干式真空泵使工作容量無油，帶來了很多好處。

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